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三氟化氮檢測(cè)儀適用場(chǎng)景分析
三氟化氮檢測(cè)儀適用場(chǎng)景分析

2025-04-23

三氟化氮檢測(cè)儀適用于多種工業(yè)和科研場(chǎng)景,特別是在需要監(jiān)測(cè)高純度氣體環(huán)境或潛在泄漏風(fēng)險(xiǎn)的環(huán)境中。以下是對(duì)三氟化氮檢測(cè)儀適用場(chǎng)景的詳細(xì)分析:一、半導(dǎo)體制造行業(yè)1.原理及需求在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,三氟化氮常用于化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻工藝。例如,在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD...
  • 2021

    6-18
    可燃性氣體甲烷應(yīng)該如果監(jiān)測(cè) 甲烷(CH4)在常溫常壓下是無(wú)色、無(wú)味、無(wú)臭、無(wú)毒氣體。植物在沒(méi)有空氣的條件下腐爛以及一些復(fù)雜分子經(jīng)過(guò)斷裂最終會(huì)生成甲烷。天然氣的主要成分就是甲烷,煤礦的瓦斯氣和沼氣池中也含有大量的甲烷。甲烷(CH4)和空氣的混合氣在點(diǎn)燃時(shí)會(huì)發(fā)生爆炸。在空氣的體積爆炸范圍為5.3%~14.0%,質(zhì)量的爆炸范圍為35~93mg/L。甲烷與氧氣的混合氣的體積爆炸范圍為8.25%~55.8%。甲烷和氯氣(Cl2)的混合氣,收到日光直射時(shí),也容易引起爆炸。在新鮮的空氣中甲烷的爆炸極限一般為5.3%~...
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